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                量产型全自动六位纳米压印机

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                量产型全自动六位纳米压印机

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                • 发布日期:2019/06/25
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                • 详细介绍

                基本参数:

                1、包含六套带加热台顶升机构及六套紫外曝光机构,各套可同时运行或单独运行;
                2、可实现软模自动更换和晶圆的智能上下料与传送;
                3、支持6英寸晶圆压印;
                4、生产效率80-120片/小时;
                5、可实现100nm结构转移;
                6、压印模板和衬底间的压力由洁净干燥空气或氮气提供,压印压力可调;
                7、触摸屏操作,可选电脑控制;
                8、适用于软模板压印;
                9、具有安全报警装置,并配备相关备品备件包。

                如需进一步了解产品信息,请与九游会j9登录联系。


                微纳结构

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