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                纳米压印技术加工过程

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                纳米压印技术加工过程

                发布日期:2020-07-23 作者: 点击:

                纳米压印技术分为三个步骤。


                一是模板的加工。一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为模板。由于电子的衍射远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率。


                二是图样的转移。在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将模板压在其表面,纳米压印软模板采用加压的方式使图案转移到光刻胶上。注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏模板。


                三是衬底的加工。用紫外光使光刻胶固化,移开模板后,纳米结构复制用刻蚀液将上一步未完全去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,得到高精度加工的材料。

                纳米压印软模板

                本文网址:/news/465.html

                关键词:纳米压印软模板,纳米微球镍模板,纳米结构复制

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